與螺桿式緊縮機類似，螺桿式干式真空泵的工作進程可分為吸氣、緊縮和排氣三個進程。跟著轉子的旋轉，每對互相嚙合的齒相繼結束相同的工作循環(huán)，如今以其中一對齒來說明。

 

吸氣進程：

 

陽轉子按逆時針方向旋轉，陰螺桿按順時針方向旋轉。圖中上方的轉子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。

 

緊縮進程：